|
|
УДК 536.2:541:53 Ш63
ПЕРСПЕКТИВЫ ВНЕДРЕНИЯ ПАТЕНТА НА авторское изобретение
ИЗОБРЕТЕНИЕ №2561335 (РФ) PERSPECTIVES ON THE IMPLEMENTATION OF A PATENT RF
INVENTION №2561335 А.Т. Шляхов - к.ф.-м.н., доцент, зав. кафедрой высшей математики, Альметьевский государственный нефтяной институт А.Г. Шляхова - к.т.н., доцент кафедры прикладной механики, Альметьевский государственный нефтяной институт
Alexander T.Shlyakhov - PhD in physics and mathematics, an associate professor, the Head of Department of Higher Mathematics, Almetyevsk State Oil Institute Alfiya G. Shlyakhova - PhD in Technical Sciences, an associate professor of Department of Applied Mechanics, Almetyevsk State Oil Institute
Проведено экспериментальное и теоретическое исследование путей повышения чувствительности термического анализа (ТА) веществ. Установлено, что ТА веществ, основанный на дифференциально-сканирующей калориметрии (ДСК) с использованием анизотропных термоэлементов (АТЭ) из висмута, способен обеспечить обнаружение микровключений с относительной чувствительностью на уровне 10-5% при абсолютной чувствительности 10-10г.
The experimental and theoretical research of ways to increase the sensitivi of the thermal substance analysis (TA) has been carried out. It is determined that TA of substances based on differential-scanning calorimetry (DSC) with the use of anisotropic thermoelements (ATE) from bismuth, is carable to provide the detection of microinclusions with relative sensivitiy at a level 10-5% if the absolute sensitivity is 10-10g.
Ключевые слова: термический анализ веществ (TA), дифференциально - сканирующая калориметрия (ДСК),анизотропный термоэлемент (АТЭ), микровключений, чувствительность.
Key words: thermal substance analysis (TA), differential-scanning calorimetry (DSC), anisotropic thermoelements (ATE), microinclusions, sensivitiy.
Изобретение относится к физико-химическому, в частности, к термическому анализу веществ и может быть использовано для определения содержания металлических веществ в полупроводниковых материалах [1- 7]. Целью изобретения является повышение чувствительности и упрощение способа при определении содержания металлических микровключений в полупроводниковых материалах.
Способ определения содержания металлических включений в полупроводниковых материалах на примере, арсенида галлия, заключающемся в охлаждении предварительно нагретых исследуемого и эталонного веществ, помещенных на сенсорах из анизотропных элементов с термоэлектрическими свойствами, при этом измеряют
83
|
